出展者情報

株式会社東設
小間番号 BS-25
住所 〒358-0045
埼玉県
入間市 寺竹46-13
担当 営業部 鳥成 優一郎
TEL 04-2936-2440
FAX 04-2936-1264
URL 出展者のホームページへ

出展内容 ■排ガス処理装置 Panacea
カタログ等データ
アピールポイント 半導体、液晶パネル製造工場のドライエッチング工程に
最適な、マイクロバブルを使用したコンパクトで非常に
高効率な湿式除害装置「Panacea」シリーズ
■生産装置から排気されるCl2、F2等のハロゲン系ガス
を水だけで99.7%以上除害します。
■メタル系副生成物、微粉体を99%以上除去します。
■薬剤を使わず、工場内リサイクル水での除害が可能な
為、大幅なランニングコストの削減が可能です。
■小流量(30L/min)から大流量(4,000 L/min)に対応。
■ガス除害と粉体除去それぞれに特化したシステム
構築が可能です。
■生産装置のダウンタイムの減少と燃焼除害装置の
メンテナンスサイクルの向上が実現可能です。

こんな方にぜひ見ていただきたい!

弊社湿式排ガス処理装置「Panacea」は、半導体や液晶の製造工場のドライエッチング工程で大量に使用される塩素系、フッ素系の特殊ガスを、粉づまりを起こすことなく、湿式で高効率除去が可能です。国内外の大手半導体、液晶工場で多数の納入実績あり。

一緒にやりませんか?

こんなことも考えています!